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在半導體芯片生產工藝中,芯片劃片之前,要將晶圓片用劃片膠膜固定在框架上,在劃片工藝完成后,用UV光對固定膠膜進行照射使UV膠膜粘性固化硬化,以降低劃片固定膜的粘性,以便后續封裝工序的順利生產。
換句話講,UV膠帶具有很強的粘合強度,在晶片研磨工藝或晶片切割工藝期間,膠帶牢固地粘住晶片。當紫外線照射時,粘合強度變低。因此,在紫外線照射后晶圓或芯片很容易從粘膠帶上面剝離脫落。UV解膠機解決了晶圓、玻璃和陶瓷切割工藝的解膠工序,適用行業目前不僅局限于半導體封裝行業,還適用于光學鏡頭、LED、IC、半導體、集成電路板、移動硬盤等半導體材料UV膜脫膠使用。現有技術中的UV解膠機多采用UV汞燈,而本身具有高熱量排放的汞燈光源容易對熱敏感材料照成損壞,且效率低,質量標準難以準確把控,不適合芯片等高精密 器件的照射。
昆山日陽電子科技有限公司用的環境友好型低溫LED UV光源解膠機,輕易完成UV膜 脫膜工藝,且不損傷晶圓,極大滿足生產需求。