晶圓清洗機
自動清洗機是專門應用于晶圓、QFN、玻璃、基板、手機模組和陶瓷等切 割后的清洗設備，此系列為二流體清洗方案。采用可編程控制器+全彩色觸摸操 作屏為控制系統，整機性能更加穩定、操作使用更便捷。
服務熱線：
181-2292-2122
產品功能、特點
采用最新的二流體清洗方案，二流體水氣比可調
具有中心定點和半徑往復兩種清洗方式，程序可自由設定
采用離心式自動夾緊鎖扣裝置
旋轉軸采用用于航空業密封技術，性能安裝可靠，真空泄露量小于1%
具有全自動上下料功能，并且雙手臂作業方式極大提升了作業效率
清洗、吹干、甩干等工藝流程，程序內可自由組合設定
程序數量不受限制，可滿足各種產品清洗的要求
配備條碼掃描槍功能，可通過掃描槍選擇產品所需清洗程序
各個攜帶產品運動機構均有配備靜電消除器
可選配增加HEPA功能
產品功能、特點
| Specification | FCS-3000 | 單位 | 備注 | |
| 規格參數 | 適用產品尺寸 | 8~12 | Inch | |
| 清洗方式 | 二流體清洗 | - | ||
| 工作盤轉速范圍 | 200~3000 | rpm | ||
| 清洗和甩干時間范圍 | 1~999 | s | ||
| 機器尺寸 | 1180 x 1280 x 1800 | mm | ||
| 電源 | 單相 AC 220 | V | ||
| 動力 | 功率 | 5 | KW | |
| 壓縮空氣 | 0.5-0.8 | MPa | ||
| 氮氣 | 0.3-0.5 | MPa | ||
| 超純水 | 0.3-0.5 | MPa | ||
| 設備重量 | 500 | Kg | ||
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