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晶圓清洗機

晶圓清洗機

自動清洗機是專門應用于晶圓、QFN、玻璃、基板、手機模組和陶瓷等切 割后的清洗設備,此系列為二流體清洗方案。采用可編程控制器+全彩色觸摸操 作屏為控制系統,整機性能更加穩定、操作使用更便捷。

服務熱線:

181-2292-2122

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產品特點  /PRODUCT ADVANTAGES

產品功能、特點 

采用最新的二流體清洗方案,二流體水氣比可調

具有中心定點和半徑往復兩種清洗方式,程序可自由設定

采用離心式自動夾緊鎖扣裝置

旋轉軸采用用于航空業密封技術,性能安裝可靠,真空泄露量小于1%

具有全自動上下料功能,并且雙手臂作業方式極大提升了作業效率

清洗、吹干、甩干等工藝流程,程序內可自由組合設定

程序數量不受限制,可滿足各種產品清洗的要求

配備條碼掃描槍功能,可通過掃描槍選擇產品所需清洗程序

各個攜帶產品運動機構均有配備靜電消除器

可選配增加HEPA功能

產品參數  /PRODUCT ADVANTAGES

產品功能、特點 

SpecificationFCS-3000 單位備注
規格參數
適用產品尺寸8~12Inch
清洗方式二流體清洗- 
工作盤轉速范圍200~3000 rpm
清洗和甩干時間范圍1~999s
機器尺寸1180 x 1280 x 1800mm
電源單相 AC 220V
動力功率5KW
壓縮空氣0.5-0.8MPa
氮氣 0.3-0.5MPa
超純水0.3-0.5MPa
設備重量 500Kg


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